半导体用电子级纯酸提纯装置硝酸纯化系统

 半导体用电子级纯酸提纯装置硝酸纯化系统

酸纯化器：又称酸纯化系统，高纯酸提纯器，酸试剂提纯器，高纯酸蒸馏纯化器等，实验室工作中常常由于酸的纯度较差，造成分析结果的偏差与错误。市售的超纯酸往往由于较贵，很难满足日常分析中对酸的大量需求。因此，提纯优化酸的质量，是为经济可行的途径，我厂的酸纯化器可用于实验室如HNO3、HCl、HF、碱溶液和有机溶剂的纯化，纯化后的酸和Merck的一样好，实验后期可配套我单位Teflon特氟龙系列试剂瓶收取高纯酸。

二、工作原理：

酸纯化器是利用热辐射原理，保持液体温度低于沸点温度蒸发，再将其酸蒸气冷凝从而制备高纯水和高纯试剂，应用于样品处理及分析实验中。

三、  产品特点：

1、可以满足ICP、ICP-MS低的检测限需要及苛刻的分析应用中提供实验室级超纯酸，所用容器均采用Teflon无吸附塑料，可处理如HNO3、HCl、HF等实验室的常用酸。

2、实验证明将金属杂质含量约10ppb的酸经过一次蒸馏后，金属杂质含量可以降低到0.01ppb左右。若对酸要求更高，可增加提纯次数。

半导体用电子级纯酸提纯装置硝酸纯化系统

四、使用注意事项：

1、所有配件（控制器、电源线、加热片等除外）放入按实验要求一定浓度的酸液中浸泡，去除杂质。

2、加酸前必须做好个人防护如：防溅眼镜、防酸手套等（蒸水除外）。

【电子级酸】：

适用于半导体生产过程中所用产品的清洗和蚀刻以及痕量金属元素残留分析，根据质控的金属元素含量的数量和含量，划分为4个级别：MOS级，VLSI级，ULSI级，SLSI级

MOS级（EL级）：控制十多个金属元素，单项金属元素杂质控制在100PPb左右

VLSI级：控制三十多个金属元素，单项金属元素杂质控制在10~100PPb

ULSI级：控制三十多个金属元素，单项金属元素杂质控制在10PPb以下

SLSI级：控制三十多个金属元素，单项金属元素杂质控制在1PPB以下

所谓的电子级酸，其实就是ppb或者ppt级的高纯酸。